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SU7000是一臺(tái)實(shí)現(xiàn)了獲取大量信息的新型掃描電鏡，可以滿(mǎn)足客戶(hù)的多種觀察需求。
接下來(lái)請(qǐng)欣賞SU7000帶來(lái)的多彩世界。
*圖為包含選配項(xiàng)的SU7000示意圖
Hitachi日立場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000核心理念：
1.采用優(yōu)的成像技術(shù)
SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測(cè)信號(hào)。全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)，使得裝置可以同時(shí)接收二次電子和背散射電子等信號(hào)，用戶(hù)可以在短時(shí)間內(nèi)獲得更的樣品信息。
2.采用多通道成像技術(shù)
隨著用戶(hù)對(duì)成像需求的不斷增長(zhǎng)，SU7000特新增了幾種探測(cè)器，還引進(jìn)了相應(yīng)的成像功能。SU7000多可同時(shí)顯示和保存6通道信號(hào)。實(shí)現(xiàn)了獲得樣品信息的更大化。
3.支持不同形狀樣品、多種觀察方法
大型樣品觀察
低真空觀察
低溫觀察
實(shí)時(shí)觀察
等所需的樣品倉(cāng)和真空系統(tǒng)都十分完備，觀察方法也是一應(yīng)俱全。
4.支持微納解析
采用肖特基發(fā)射電子槍?zhuān)笫骺蛇_(dá)到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉(cāng)形狀和接口設(shè)置支持EDX分析、EBSD、熒光分析等，接口設(shè)備可通過(guò)選配附件滿(mǎn)足多種特殊需求。
Hitachi日立場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU7000規(guī)格：
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項(xiàng)目 |
內(nèi)容 |
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圖像分辨率 |
二次電子分辨率 |
0.8 nm/15 kV |
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0.9 nm/1 kV |
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放大倍率 |
20～2,000,000 x |
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電子槍 |
發(fā)射體 |
ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射（肖特基熱場(chǎng)發(fā)射） |
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加速電壓 |
0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV） |
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束流 |
大200 nA |
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探測(cè)器 |
標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 |
UD （上探測(cè)器) |
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MD （中探測(cè)器） |
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LD （下探測(cè)器) |
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選配探測(cè)器*1 |
PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器） |
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UVD（高靈敏度低真空探測(cè)器 ） |
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低真空模式*1 |
樣品倉(cāng)壓力范圍 |
5～300 Pa |
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可使用探測(cè)器 |
PD-BSED, UVD, UD, MD, LD |
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馬達(dá)臺(tái) |
馬達(dá)臺(tái)控制 |
5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
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移動(dòng)范圍 |
X |
0～135 mm |
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Y |
0～100 mm |
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Z（WD） |
1.5～40 mm |
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T（傾斜角） |
-5～70° |
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R（旋轉(zhuǎn)角） |
360° |
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樣品尺寸 |
大直徑：φ200 mm, 大高度：80 mm |
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顯示器*1 |
23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏 |
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圖像顯示模式 |
全屏顯示模式 |
1,280×960像素顯示 |
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單屏顯示模式 |
800×600像素顯示 |
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雙屏顯示模式 |
800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 |
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四屏顯示模式 |
640×480像素顯示 |
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六屏顯示模式*2 |
640×480像素顯示 *2 |
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圖像數(shù)據(jù)保存 |
保存圖像尺寸 |
640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 |
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選配附件 |
能譜儀（EDX） |
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X射線波譜儀（WDX） |
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電子背散射衍射（EBSD） |
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陰熒光探測(cè)器（CL) |
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冷凍傳輸系統(tǒng) |
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各種功能樣品臺(tái) |
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*1為選配項(xiàng)。
*2支持雙屏顯示。
